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76-16-4  电子级六氟乙烷

CAS Number:76-16-4 基本信息
中文名:20089 电子级六氟乙烷;
电子级六氟乙烷电子级氟碳;全氟乙烷;氟里昂116
英文名:265 Ethane,1,1,1,2,2,2-hexafluoro-
别名: Ethane,hexafluoro- (8CI,9CI);
Ethyl hexafluoride;
F 116;
F 116 (fluorocarbon);
FC 116;
FC 1160;
Freon 116;
HFC 116;
Hexafluoroethane;
PFC 116;
Perfluorocarbon 116;
Perfluoroethane;
R 116
分子结构:
  • CAS:76-16-4_电子级六氟乙烷的分子结构
  • CAS:76-16-4_电子级六氟乙烷的分子结构
  • 1
  • 2
分子式: C2F6
分子量: 138.01
76-16-4
EINECS登录号: 200-939-8
物理化学性质
性质描述:电子级六氟乙烷(76-16-4)的性状:
    1.无色,不可燃气体,不溶于,溶于乙醇。沸点-78.2℃,熔点-100.6℃,临界温度19.7℃,常温下(19.7℃)是压缩气体。
    2.化学性质不活泼,在600℃以下与石英不反应,在842℃下还不全部分解。在处理六氟乙烷过程中,可按无毒气体处理,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。
安全信息
安全说明: S38:在通风不良的场所,佩戴合适的呼吸装置。
msds报告: 六氟乙烷msds报告
其他信息
产品应用:电子级六氟乙烷(76-16-4)的用途:
    用于微电子工业中仵等离子蚀刻气体,以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。
生产方法及其他:1.电子级六氟乙烷(76-16-4)的制备方法:
    1.采用活性炭直接氟化工艺路线。
    2.在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4 80%左右、含C2F6 10%~15%,含C3F8 4%~6%的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,在釜温为-45~-35℃提取C2F6,用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6

2.质量标准:
    核工业理化工程研究院标准
指标名称                                            指  标
六氟乙烷(C2F6)/10-6  ≥                             99.99
一氧化碳(CO)/10-6    ≤                               5
二氧化碳(CO2)/10-6   ≤                               5
氧(O2)/10-6          ≤                               5
氮(N2)/10-6          ≤                              20
水(H2O)/10-6         ≤                               5
其他氟烷烃/10-6    ≤                              50
度/10-6            ≤                             0.1
充瓶压力通常低于12.5MPa,有4L、8L容器(铝合金)。

3.包装及贮运:
    六氟乙烷对属和合金不腐蚀,可用钢瓶和合金容器装运,按压缩气体运输,对气瓶每五年检验一次。国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。

4.毒性与防护:
    可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。

5.安全性:
    本品可引起快速窒息。应与易燃、可燃物分开存放。远离火种、热源。接触后引起头痛、恶心和眩晕。储存于阴凉、通风仓库内。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。防潮、防晒。可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物。大鼠吸入80%(20%为O2)×4h,近似致死浓度。

6.参数:
    1、疏水参数计算参考值(XlogP):2
    2、氢键供体数量:0
    3、氢键受体数量:6
    4、可旋转化学键数量:0
    5、常温常压下稳定避免氧化物,对环境有危害,对水体和大气可造成污染,对大气臭氧层有极强破坏力。常温,阴凉通风处。
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