| CAS Number:75-73-0 基本信息 | |
| 中文名:61190 | 四氟甲烷; 四氟化碳 |
| 英文名:41366 | Carbon tetrafluoride |
| 别名: | Tetrafluoromethane; FC 14; Halocarbon 14; Refrigerant R 14 |
| 分子结构: |
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| 分子式: | CF4 |
| 分子量: | 88.00 |
75-73-0 | |
| EINECS登录号: | 200-896-5 |
| InChI: | 1S/CF4/c2-1(3,4)5 |
| 物理化学性质 | |
| 熔点: | -184ºC |
| 沸点: | -128ºC |
| 性质描述: | 无色无臭无味气体。熔点-150℃（-184℃），沸点128℃，密度1.96g/cm3。微溶于水。对热非常稳定，化学性质比四氯化碳更不活泼。 |
| 安全信息 | |
| 安全说明: | S38：在通风不良的场所，佩戴合适的呼吸装置。 |
| 危险类别码: | S38：在通风不良的场所，佩戴合适的呼吸装置。 |
| 危险品运输编号: | UN1982 |
| msds报告: | 四氟甲烷msds报告 |
| 其他信息 | |
| 产品应用: | 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 |
| 生产方法及其他: | 由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。 |
| 相关化学品信息 | |
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